高精度平面磨床是一種高精度加工設備，主要用于加工工件的平面，以達到高的表面質量和精度要求。采用精密的控制技術、高精度的傳動裝置和各種精密機械組件，能夠確保加工精度的穩定性和一致性。這些技術使得磨削深度和磨削精度可以被精確控制在特定的范圍內，滿足微米級的加工精度需求。
1、高穩定性床身
整體花崗巖結構：高精度平面磨床的床身通常采用整體花崗巖結構，因為花崗巖具有高阻尼、小振動和良好的熱穩定性，這些特性確保了磨床的高剛度和高穩定性。
閉式靜壓導軌：工作臺面采用整體花崗巖結構，并在傳統閉式靜壓導軌的基礎上開發了高剛性、高精度的大平面閉式靜壓導軌，以實現工作臺的大行程、平穩、可靠的往復運動。
2、工作臺
直線電機驅動：工作臺采用SIEMENS直線電機進行驅動，同時為了防止直線電機的運動影響臺面，專門為直線電機設計了獨立的靜壓導軌。
光柵系統閉環控制：臺面的運動狀態由HEIDENHAIN光柵系統進行閉環控制，從而保證了工作臺具有高精度、快速響應的運動特性。
3、立柱、滑座與橫梁
熱變形控制：立柱和橫梁采用花崗巖制成，以控制由于熱引起的機床變形。
伺服電機與滾珠絲杠：砂輪橫向位移滑座置于固定的橫梁上，安裝砂輪架的垂直運動拖板置于橫向位移滑座上。橫向位移和垂直運動均采用SIEMENS伺服電機直接驅動高精度滾珠絲杠來完成，HEIDENHAIN光柵位置反饋。
4、砂輪架
靜壓主軸系統：開發了轉速范圍廣、高剛性、高精度砂輪靜壓主軸系統，以實現砂輪的高剛性、高精度回轉運動。
砂輪平衡裝置：砂輪主軸配備了砂輪平衡裝置，配套的管理控制程序能在循環中連續監測砂輪的情況并立即對可能出現的不平衡量進行補償。
5、測量系統
在位測量系統：機床配備了激光干涉儀作為加工精度的在位測量系統，通過機床臺面運動和測量拖板橫向運動，使激光干涉儀的鏡頭可以掃描所有加工面積。
6、潤滑和保護
獨立自動循環潤滑系統：獨立的自動循環潤滑系統提供導軌和螺桿的定期清潔和潤滑，并具有失壓報警功能。
全密封屏蔽：配備全密封屏蔽，有效防止研磨液濺出機器，減少灰塵和霧對環境的影響，確保環境清潔和操作人員的健康。
7、電氣系統
數控系統：該機器采用數控系統，三個數控軸分別控制機床的上下運動。
電氣柜與控制面板：機床采用配有三色燈的獨立電氣柜?？刂泼姘宀捎眉胁僮?，所有操作元件和數控系統都集中在這里。
8、冷卻系統
大流量冷卻系統：配備大流量冷卻系統和磁性分離以及紙過濾裝置，可滿足高效研磨生產連續性的需要，進一步保證研磨質量。
